平面、立体、深孔/缝隙等不同几何

• 目标对象：对平面、立体、深孔/缝隙等不同几何，选择风嘴/风蛇形态与风量/风速组合。
• •工艺需求：对洁净度要求高，优先低颗粒脱落与易清洁设计；对速度要求高，优先高风速与定向喷嘴。
• •安装空间：考虑台式/悬挂/侧装与气流路径，避免回流与死角。
• •供电与控制：匹配高压发生器/控制器，支持脚踏/联动/自动化控制。
• •维护能力：关注滤网/电极可维护性、耗材成本与校准周期。

系统集成

• •与产线联动：与传送带、机械臂、遮罩配合，避免二次吸附。
• •与ESD体系：纳入EPA分区、接地、人员/工装/包装管理，形成闭环控制。
• •与除尘系统：与FFU/HEPA/局部抽排协同，降低二次污染。
• •数据化：记录消电时间、离子平衡、温湿度，用于趋势分析与审计。

测试与校准

• •标准方法：使用静电综合测试仪（如ME268A）或等效设备，按距离（如15cm）与电压（如5000V→500V）测试消电时间与离子平衡。
• •现场变量：控制温湿度并记录，确保可复现；定期交叉校准与第三方溯源。
• •验收准则：以工艺良率/缺陷率与ESD事件为最终指标，结合设备指标综合评估。

7 维护与安全

• •日常维护：定期清洁电极/风道/滤网，检查高压连接与接地，更换磨损部件。
• •安全要点：确保可靠接地、遵循高压安全与操作规程；易燃易爆环境下禁用或采用防爆认证型号。
• •故障排查：针对消电慢/残留高/噪声大等问题，按气流→电极→高压→环境链路排查。